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快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些 快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

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摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內(nèi)部的一些缺陷,改善產(chǎn)品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些以及快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點(diǎn)進(jìn)來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些

快速退火爐是用于快速熱處理、熱氧化處理、高溫退火的設(shè)備,采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng),采用PID閉環(huán)控制溫度,可以達(dá)到極高的控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真空腔體,也可根據(jù)用戶工藝需求配置多路氣體。

主要功能和特點(diǎn):

1、可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便。

2、爐體配備高精度移動平臺,運(yùn)行平穩(wěn)無抖動。

3、爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能、減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能、當(dāng)爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動,可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗要求。

4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時,升溫速度快,最高溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用。

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

7、設(shè)置超溫報警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。

二、快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點(diǎn)后,再來看看快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹吧!

1、快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN)。

2、離子注入/接觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化處理。

5、化合物合金(砷化鎵、氮化物等)。

6、多晶硅退火。

7、太陽能電池片退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴(kuò)散。

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