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光刻膠的優(yōu)缺點(diǎn) 光刻膠的危害及防護(hù)

摘要:光刻膠是一種感光材料,可以通過光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⒀谀ぐ鎴D形轉(zhuǎn)移至襯底上,形成與掩膜版完全對(duì)應(yīng)的幾何圖形。光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料,具有精度高、適用范圍廣、加工速度快的優(yōu)點(diǎn),但也具有成本較高、對(duì)環(huán)境有一定污染、對(duì)人體有一定危害的缺點(diǎn)。下面來了解下光刻膠的危害及防護(hù)。

一、光刻膠的優(yōu)缺點(diǎn)

光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料,具有以下優(yōu)點(diǎn):

1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級(jí)別的圖案,具有非常高的精度和穩(wěn)定性。

2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻璃、陶瓷等。

3、加工速度快。光刻膠可以在短時(shí)間內(nèi)完成芯片表面的加工和處理,提高了生產(chǎn)效率。

但光刻膠也存在一些缺點(diǎn),主要包括以下幾點(diǎn):

1、成本較高。光刻膠的制備和加工過程較為復(fù)雜,成本較高。

2、對(duì)環(huán)境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會(huì)產(chǎn)生一定的污染物,對(duì)環(huán)境有一定影響。

3、對(duì)人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質(zhì),對(duì)人體有一定危害。

二、光刻膠的危害及防護(hù)

危害:光刻膠是一種乙類危險(xiǎn)品,無色透明液體,有微弱類似芳香酯的氣味。高濃度蒸汽刺激眼和呼吸道,經(jīng)常吸入對(duì)腎臟有損傷。易燃,遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物,當(dāng)達(dá)到一定濃度時(shí),遇火星會(huì)發(fā)生爆炸。

急救措施:應(yīng)使吸入蒸氣的患者脫離污染區(qū)。安置休息并保暖,眼睛受刺激用水沖洗,對(duì)濺入眼內(nèi)的嚴(yán)重患送醫(yī)院診治。皮膚接觸用溶劑擦洗,再用肥皂徹底洗滌。誤服立即漱口,送醫(yī)院救治。

消防方法:消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器,穿全身防火防毒服,在上風(fēng)向滅火。盡可能將容器從火場(chǎng)移至空曠處。噴水保持火場(chǎng)容器冷卻,直至滅火結(jié)束。處在火場(chǎng)中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中產(chǎn)生聲音,必須馬上撤離。滅火劑:霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳、砂土。

泄漏應(yīng)急處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。若是液體,盡可能切斷泄漏源。防止流入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏:用干燥的砂土或類似物質(zhì)吸收。大量泄漏:構(gòu)筑圍堤或挖坑收容。用泡沫覆蓋,降低蒸氣災(zāi)害。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)S檬占鲀?nèi),回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。若是固體,收集于干燥、潔凈、有蓋的容器中。若大量泄漏,收集回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。

操作注意事項(xiàng):密閉操作。密閉操作,提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防塵口罩,戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。遠(yuǎn)離火種、熱源,工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。

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